成果名称：超精密恒温控制系统。

技术领域：高端智能装备。

成果简介：在超精密测量、制造等领域中，环境温度的微小变化都会对结果产生显著影响，因此需要高精度

                温度控制手段。365英国上市网站官网自研的微纳米三坐标测量机，其测量过程需要在恒温条件下进

                行，针对此需求，本项目研制了一套基于自然对流原理的超精密恒温箱，解决了环境温度控制

                的问题。该恒温箱从初始温度达到稳态大约需要2小时，稳态误差为0.0032 ℃，稳态时的波动量

                小于0.03 ℃，温度梯度小于0.1 ℃。该恒温箱已在365英国上市网站官网以及台湾大学微纳米三坐标测量

                机上得以应用，保障了测量精度。由于该恒温箱具有控温精度高、无振动、成本低和重量轻等突

                出优点使得该成果适用于微纳米测量、制造等对环境温度稳定性要求较高的领域，可以为仪器设

                备提供稳定的温度环境。

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