成果名称：多模式低漂移原子力显微镜。

技术领域：高端智能装备。

成果简介：在高端智能制造中的超精密表面形貌测量领域，原子力显微镜（AFM）是目前测量分辨最高的

                测量仪器之一，但现有的AFM收到压电器件非线性、迟滞等误差的影响，测量精度不高；如增加

                位移传感器，则仪器成本大大提高。针对高精度、低成本AFM的需要，项目团队开发了多模式、

                低漂移的低成本原子力显微镜实验样机。实验样机可工作于振幅反馈控制模式、相位反馈控制模

                式、高阶谐振测量模式，宏动范围5mmX5mmX3mm，单扫描范围13微米X11微米X7微米，分

                辨力0.9nm，非线性2%，具有软件实时补偿压电驱动误差功能。仪器成本低。该样机可用于半

                导体器件、超精密机械零件、精密光学元件等的表面形貌测量。

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